Die Fachgruppe 1.2.1 Lithografie

erm枚glicht den Informations- und Erfahrungsaustausch f眉r den Bereich Lithografie mit dem Schwerpunkt Halbleiterprozesse. Angesprochen werden dabei auch Fragestellungen zur Applikation lithografischer Anlagen, lithografiespezifischer Messtechnik und Materialien sowie der Lithografiesimulation.

Ziel ist es, ein Forum f眉r den fachlichen Gedankenaustausch zu bieten und den Kontakt der Fachexperten aus der Wirtschaft, Wissenschaft und Forschung zu f枚rdern.

Die Fachgruppe Lithografie wendet sich somit an Mitarbeiter der Halbleiterfertigung (inkl. der Bereiche LED und MEMS)Hersteller lithografischer Anlagen und Messger盲teHersteller von Materialien der LithografieHersteller von Lithografiesimulations- und entsprechender EDA-Software.

Kernpunkt der Aktivit盲ten der Fachgruppe ist die Ausrichtung eines j盲hrlichen Workshops zu einem zuvor vereinbarten Schwerpunktthema aus den Gebieten Halbleiterprozess, Lithografieanlagen oder -materialien.